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安捷倫科技(中國)有限公司

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Turbo-V 1K-G 分子泵

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:

品       牌:Agilent/安捷倫

廠商性質:生產商

所  在  地:北京市

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更新時間:2023-05-28 16:31:49瀏覽次數:433次

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應用領域 化工
高通量 Turbo-V 1K-G 分子泵是一種專用真空泵系統,抽速可達 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 專為工業應用而設計,尤其可用作薄膜沉積設備的渦輪分子泵。其葉片級數和整個泵結構均經過優化,能夠在高溫負載和極高氬氣流下工作。

高通量Turbo-V 1K-G 分子泵是一種專用真空泵系統,抽速可達 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 專為工業應用而設計,尤其可用作薄膜沉積設備的渦輪分子泵。其葉片級數和整個泵結構均經過優化,能夠在高溫負載和很高氬氣流下工作。

典型的工業真空鍍膜應用,包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 1K-G 的可靠設計和先進的電子設備、機架式或一體式解決方案,使其成為真空鍍膜行業的最佳分子泵解決方案。

特性


  • Turbo-V 1K-G 分子泵專為薄膜沉積應用而設計的分子泵解決方案

  • 經優化適用于很高的氬氣流量

  • 支持高氣體流速,能夠使用 DN 160 或 200 實現高通量應用

  • 耐用設計、高效運行的冷卻系統可實現連續運行

  • 氣體吹掃可保護泵軸承,在存在系統污染物和微粒的情況下可實現無縫運行

  • 低噪音,不會對系統產生任何影響

  • 體積小巧,可安裝在任何位置,有利于輕松集成

  • 免維護軸承,零運行成本

  • 通過 Vacuum Link 應用程序實現無線控制,以便隨時隨地進行泵的操作

  • 通用電子接口

性能指標


H2 壓縮比
  • 1.5 x 104

He 壓縮比
  • >4 x 104

N2 壓縮比
  • >5 x 107

前級管道法蘭尺寸
  • KF 25 NW

  • KF 40 NW

前級耐壓 — N2
  • 3 mbar

啟動時間
  • < 5 min

工作位置
  • 任意

建議采用的前級泵容量
  • 20 m3/h

抽速 — Ar
  • 1040 L/s (ISO 200) L/s

抽速 — H2
  • 730 L/s (ISO 200) L/s

抽速 — He
  • 1150 L/s (ISO 200) L/s

抽速 — N2
  • 1080 L/s (ISO 200) L/s

振動水平
  • < 在抽氣口法蘭處為 0.01 μm

操作環境溫度
  • +5 to +35 °C

極限真空
  • <1 x 10–10 mbar

標準和認證
  • UNI EN 292-1
    UNI EN 292-2
    EN 55011 A類
    EN 61000-4-2
    EN 61000-4-3
    EN 61000-4-4
    EN 61000-4-5
    EN 61010-1
    EN 1012-2

法蘭類型
  • DN 160 ISO-F

  • DN 200 ISO-F

貯存環境溫度
  • -20 至 +70 °C

重量
  • 26.8 kg

額定轉速
  • 45660 rpm(驅動頻率 761 Hz)




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